发明名称 PIEZOELECTRIC FILM SENSOR
摘要
申请公布号 EP2042851(A4) 申请公布日期 2012.10.24
申请号 EP20070768381 申请日期 2007.07.04
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 OHNISHI, TAKAO;SHIMIZU, HIDEKI;KOIZUMI, TAKAAKI
分类号 G01N11/14;H01L41/08;H01L41/09;H01L41/187 主分类号 G01N11/14
代理机构 代理人
主权项
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