| 发明名称 | 蚀刻液组成物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种由铟系金属膜、铝-镧系合金膜及钛系金属膜所组成的三重膜的蚀刻液组成物。本发明的蚀刻液组成物，其特征在于，对于组成物的总重量，包含：过氧化氢的重量占1％～15％、无机酸的重量占0.1％～10％、含氟化合物的重量占0.01％～5％和其余的水的部分。 | ||
| 申请公布号 | CN102753652A | 申请公布日期 | 2012.10.24 |
| 申请号 | CN201080049723.0 | 申请日期 | 2010.10.12 |
| 申请人 | 东友FINE-CHEM股份有限公司 | 发明人 | 李昔准;慎蕙驘;权五柄;李喻珍 |
| 分类号 | C09K13/08(2006.01)I;C23F1/20(2006.01)I;C23F1/30(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人 | 郑立;高为华 |
| 主权项 | 一种由铟系金属膜、铝‑镧系合金膜及钛系金属膜所组成的三重膜的蚀刻液组成物，其特征在于，在组成物的总重量中，包含：过氧化氢的重量占1％～15％、无机酸的重量占0.1％～10％、含氟化合物的重量占0.01％～5％、和其余的水的部分。 | ||
| 地址 | 韩国全罗北道 | ||