离子注入设备的监测方法

摘要

一种离子注入设备的监测方法，在离子注入工艺中，通过对产品晶圆上的管芯内焊盘区域进行热波数据测量，并将热波数据送入SPC设备进行处理，由于是对产品晶圆而不是对裸晶圆进行检测，所以本发明能够及时并且准确地监测离子注入设备的状态，进而能根据需要对离子注入设备进行随时的调控，使各批次晶圆的离子注入工艺结果稳定、一致。

主权项

一种离子注入设备的监测方法，其特征在于，所述方法包括：提供多个产品晶圆，所述产品晶圆用于制造所需要的集成电路，每个所述产品晶圆均具有多个管芯；所述管芯包括焊盘区域，所述焊盘区域用于将所述管芯与外部电路电连接；将多个所述产品晶圆置于离子注入设备中，进行离子注入；在进行离子注入之后，对多个所述产品晶圆进行快速热退火处理；在快速热退火处理后，进行数据测量步骤；所述数据测量步骤包括：在进行快速热退火处理后，取出多个所述产品晶圆中的任意一个或多个，测量取出的所述产品晶圆的管芯内的所述焊盘区域的热波数据，接着，将所述热波数据送入统计过程控制设备，通过对所述热波数据的统计和分析，从而监测所述离子注入设备的状态。