移动体驱动方法及移动体驱动系统、图案形成方法及装置、曝光方法及装置、以及组件制造方法

摘要

控制装置根据测量移动体WST相对XY平面的倾斜角的干涉仪的测量值，在光栅(39Y1,39Y2)的周期方向使移动体相对XY平面倾斜角度α，根据此倾斜前后的编码器系统(62A,62C)的测量值与角度α的信息，算出光栅表面相对XY平面内的移动体的位置控制的基准的基准面(例如投影光学系统的像面)的阿贝偏移量。接着，控制装置根据编码器系统所测量的XY平面内的移动体的位置信息、及因光栅表面的阿贝偏移量造成的移动体相对XY平面的倾斜角所对应的编码器系统的测量误差，沿着XY平面驱动移动体。

主权项

一种曝光装置，经由投影光学系统用能量束使物体曝光，所述曝光装置的特征在于具备：移动体，保持该物体，至少能在规定平面内正交的第1及第2方向移动且能相对该规定平面倾斜；编码器系统，在该移动体设有栅格部与多个读头之一，经由该多个读头分别从与该规定平面交叉的方向对该栅格部照射光束，测量在该规定平面内的该移动体的位置信息；以及控制装置，对于与该规定平面正交的第3方向，补偿因配置在与该曝光时该物体大致一致的基准面不同的位置的该栅格部的栅格面产生的该编码器系统的测量误差，同时根据该编码器系统的测量信息控制该移动体的位置，在该编码器系统，通过该移动体的移动使该多个读头中的与该栅格部对向的读头的数量变化，且通过该移动体的移动将该多个读头中的用于该位置信息的测量的读头切换至其他读头。