气密密封装置及具有该密封装置的显示装置制造系统

摘要

本发明系有关于一种气密密封装置，其包括一个在一侧具有一第一入口而在另一侧具有一第二入口的壳体、置于该壳体内部且分别开启和关闭该第一入口与该第二入口的一第一阀片与一第二阀片、一个置于该壳体内部的支承面板、一个设于该支承面板的一侧且水平地移动该第一阀片的第一汽缸单元、一个设于该支承面板的另一侧且水平地移动该第二阀片的第二汽缸单元、及至少一个连接至该支承面板且垂直地移动该第一阀片和该第二阀片的驱动单元。每个阀片是由由一汽缸单元所供应的气压或流体压力驱动。

主权项

一种气密密封装置，包含：壳体，该壳体在一侧具有第一入口而在另一侧具有第二入口；置于该壳体内部且分别开启与关闭第一入口和第二入口的第一阀片和第二阀片；置于该壳体内部的支承面板；设于该支承面板的一侧且水平地移动该第一阀片的第一汽缸单元；设于该支承面板的另一侧且水平地移动该第二阀片的第二汽缸单元；及连接到该支承面板且垂直地移动该第一阀片和该第二阀片的至少一个驱动单元。