发明名称 CMP METHOD
摘要
申请公布号 EP2329520(B1) 申请公布日期 2012.10.24
申请号 EP20100707249 申请日期 2010.02.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MCDEVITT, THOMAS, LEDDY;SHAH, EVA;TIERSCH, MATTHEW, THOMAS;BATES, GRAHAM, MATTHEW;WHITE, ERIC, JEFFREY
分类号 H01L21/321;C09G1/02;H01L21/768 主分类号 H01L21/321
代理机构 代理人
主权项
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