发明名称 |
MANUFACTURE OF CONTACT FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS61107726(A) |
申请公布日期 |
1986.05.26 |
申请号 |
JP19850130944 |
申请日期 |
1985.06.18 |
申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP |
发明人 |
SANDEITSUPU TEIWARI |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L29/45 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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