发明名称 MANUFACTURE OF CONTACT FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS61107726(A) 申请公布日期 1986.05.26
申请号 JP19850130944 申请日期 1985.06.18
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP 发明人 SANDEITSUPU TEIWARI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L29/45 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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