提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法

摘要

本发明提出一种施加直流偏压提高静电力驱动原子力显微镜(AFM)探针悬臂振动幅度的方法。AFM探针悬臂背面的金属镀层和导电玻璃作为两个电极，在这两个电极间施加交流信号从而产生静电力来驱动悬臂振动，由于作用力直接施加于悬臂，避免了悬臂振动频谱图中除共振峰以外其它杂峰的出现；而进一步叠加直流信号来提高悬臂振动幅度，从而振动信号的信噪比增加，有利于锁定真正的悬臂共振频率，进而提高了仪器的分辨率。

主权项

一种提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法，其特征在于，包括下列步骤：在探针悬臂背面的金属镀层和导电玻璃上施加交流电压，产生静电场；所述静电场产生的静电力作用在所述探针悬臂上，驱动所述探针悬臂振动；在施加交流电压的基础上施加直流偏压，提高所述探针悬臂的振动幅度；根据所述探针悬臂振动的频谱图，结合原子力显微镜进行成像。