| 发明名称 | 太阳能电池片选择性刻蚀装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种太阳能电池片选择性刻蚀装置及方法，所述刻蚀装置包括：传输辊；设置在所述传输辊上方的涂布辊，所述涂布辊的表面包覆有吸液层，并且所述涂布辊与传输辊之间的间距小于太阳能电池片的厚度；其中，所述传输辊旋转对所述太阳能电池片进行传输，所述吸液层受挤压后将吸附的刻蚀液涂布至所述太阳能电池片的上表面。本发明与现有工艺兼容性良好，并且能够解决溶液消耗量大、喷洒均匀性要求高、设备维护成本高等问题。 | ||
| 申请公布号 | CN102751185A | 申请公布日期 | 2012.10.24 |
| 申请号 | CN201210253217.4 | 申请日期 | 2012.07.20 |
| 申请人 | 常州天合光能有限公司 | 发明人 | 祁宏山;肖新民;丁志强;卫志敏 |
| 分类号 | H01L21/308(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/308(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆勍 |
| 主权项 | 一种太阳能电池片选择性刻蚀装置，其特征在于，包括：传输辊；设置在所述传输辊上方的涂布辊，所述涂布辊的表面包覆有吸液层，并且所述涂布辊与传输辊之间的间距小于太阳能电池片的厚度；其中，所述传输辊旋转对所述太阳能电池片进行传输，所述吸液层受挤压后将吸附的刻蚀液涂布至所述太阳能电池片的上表面。 | ||
| 地址 | 213031 江苏省常州市天合光伏产业园天合路2号 | ||