自动探针结构站及其方法

摘要

本发明提供一种用于达成一受试装置(device under test)的检验的探针系统(probe system)。该系统包含：一储存架(storage rack)；一探针杆式门架总成(probe bar gantry assembly)；一探针总成，用以电性配合该受试装置；以及一机械手(robot)系统，用以自该储存架撷取该探针总成以及递送该探针总成至该探针杆式门架。该机械手系统亦用以自该探针杆式门架撷取一探针总成以及递送该探针总成至该储存架。该探针总成包含一夹持总成，该夹持总成用以附装该探针总成至该探针杆式门架或该储存架。该探针总成可包含一接触插脚阵列，该接触插脚阵列用以在该探针总成安装于该探针杆式门架总成上时配合该受试装置上的导电焊垫。

主权项

一种用于检验一受试装置的探针系统，该探针系统包含：a.一储存架；b.一探针杆式门架总成；c.一探针总成，用以电性配合该受试装置；以及d.一机械手系统，用以自该储存架撷取该探针总成以及递送该探针总成至该探针杆式门架，该机械手系统更用以自该探针杆式门架撷取一探针总成以及递送该探针总成至该储存架。