发明名称 矽晶铸锭
摘要 本创作提供一种矽晶铸锭,包含底部。特别地,矽晶铸锭的底部包含矽晶种层。矽晶种层系由多个单晶矽晶种以及多个成核促进颗粒所构成。相邻的单晶矽晶种之间存有第一间隙,并且邻接矽晶铸锭之边缘的单晶矽晶种与边缘之间存有第二间隙。多个成核促进颗粒系安置在所有第一间隙以及所有第二间隙内。
申请公布号 TWM439895 申请公布日期 2012.10.21
申请号 TW101208778 申请日期 2012.05.10
申请人 中美矽晶制品股份有限公司 发明人 刘泳呈;许堉程;白凯元;蓝文杰;杨瑜民;余文怀;许松林;徐文庆
分类号 H01L31/0368 主分类号 H01L31/0368
代理机构 代理人 陶霖 台北市文山区景兴路202巷8号5楼
主权项 一种矽晶铸锭,包含一底部,其特征在于该底部包含一矽晶种层,该矽晶种层系由多个单晶矽晶种以及多个成核促进颗粒所构成,相邻的单晶矽晶种之间存有一第一间隙,邻接该矽晶铸锭之边缘的单晶矽晶种与该边缘之间存有一第二间隙,该多个成核促进颗粒系安置在该等第一间隙以及该等第二间隙内。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中每一单晶矽晶种具有一晶向,该晶向系选自由(100)、(110)、(111)、(112)以及(232)所组成之群组中之其一。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中该多个单晶矽晶种占该矽晶种层之体积百分比大于约80%。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中每一单晶矽晶种之厚度小于约10cm。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中每一第一间隙之宽度小于约5cm。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中每一第二间隙之宽度小于约5cm。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中该多个成核促进颗粒包含选自由一多晶矽颗粒、一单晶矽颗粒以及一单晶碳化矽颗粒所组成之群组中之其一。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中每一成核促进颗粒之颗粒尺寸系小于约50mm。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中每一成核促进颗粒具不规则形状。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中该多个单晶矽晶中之一个单晶矽晶种为选自由一长方体、一圆柱体、一三角柱体、五角柱体以及一六角柱体所组成之群组中之其一。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中该多个单晶矽晶中之一个单晶矽晶种为选自由一长方体、一三角柱体、五角柱体以及一六角柱体所组成之群组中之其一,该个单晶矽晶种之一顶部多边形的最短边长为约100mm~200mm。如请求项1所述之矽晶铸锭,其中该多个单晶矽晶中之一个单晶矽晶种为一圆柱体,该圆柱体之一顶部圆形的直径为约100mm~300mm。
地址 新竹市科学工业园区工业东二路8号