摘要 |
Zum präzisen positionsgenauen und zuverlässigen Belegen zumindest eines Abschnittes eines Substrats Su mit mindestens einer Belegkomponente Bk werden eine Vorrichtung Bv und ein mit dieser Vorrichtung ausführbares Verfahren vorgeschlagen. Die Vorrichtung umfasst (a) mindestens eine Aufbringvorrichtung Fk für die Belegkomponente Bk, (b) mindestens eine Trägerfläche Tb für das Substrat Su und (c) mindestens eine oberhalb der Trägerfläche Tb und unterhalb der Aufbringvorrichtung Fk angeordnete Zwischenablagevorrichtung Zv mit mindestens einer Zwischenablagefläche Ab für die Belegkomponente Bk, wobei die Belegkomponente Bk mittels der Aufbringvorrichtung Fk auf der Zwischenablagefläche Ab ablegbar ist. Die Zwischenablagefläche Ab ist ortsfest gehalten, sodass die Belegkomponente Bk vor dem Überführen auf das Substrat Su ruht, und die Zwischenablagefläche Ab ist bewegbar, sodass die Belegkomponente Bk von mindestens einer Depositionsfläche Df auf der Zwischenablagefläche Ab positionsgenau auf das Substrat Su überführbar ist. Das Verfahren umfasst folgende Verfahrensschritte: (a) Fördern der Belegkomponente Bk mittels mindestens einer Aufbringvorrichtung Fk auf mindestens eine Zwischenablagefläche Ab von mindestens einer Zwischenablagevorrichtung Zv, (b) Positionieren des Substrats Su auf mindestens einer Trägerfläche Tb unterhalb der Zwischenablagefläche Ab und (c) Bewegen der Zwischenablagefläche Ab, sodass die Belegkomponente Bk von mindestens einer Depositionsfläche Df auf der Zwischenablagefläche Ab positionsgenau auf die Trägerfläche Tb überführt wird, während die Zwischenablagefläche Ab ortsfest gehalten wird.
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