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发明名称 PLASMA PROCESSING METHOD AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101192613(B1) 申请公布日期 2012.10.18
申请号 KR20087007522 申请日期 2005.09.26
申请人 发明人
分类号 H05H1/24;H05H1/00;H05H1/46 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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