一种小功率集成微波微等离子体源

摘要

本发明公开了一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环形器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工作时小功率微波输入到平面微带渐变螺旋电感耦合线圈而激励起微波微等离子体。本发明具有频率可调、功率可调、功率源保护以及小型便携等优点。

主权项

一种小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，包括：锁相环频率合成器（1），用于产生性能优良的微波频率振荡信号；可调衰减器（2），与所述锁相环频率合成器（1）连接，用于增大所述微波频率振荡信号功率的可调范围；宽带功率放大器（3），与所述可调衰减器（2）连接，用于放大所述微波频率振荡信号；环形器（4），与所述宽带功率放大器（3）连接，用于减小微波微等离子体的激励所带来的阻抗不匹配对小型微波功率源的影响；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈（6），与所述环行器（4）连接，用于激励微波微等离子体。