| 发明名称 | 盐，光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种盐、光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述盐由式(I)表示，其中Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L<sup>1</sup>表示其中的亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C17二价饱和烃基，L<sup>2</sup>和L<sup>3</sup>各自表示单键或其中的亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C6二价饱和烷基，环W<sup>1</sup>和环W<sup>2</sup>各自表示C3-C36烃环，R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自表示氢原子或C1-C6烷基，R<sup>3</sup>表示C1-C6烷基，t表示0至2的整数，并且Z<sup>+</sup>表示有机抗衡离子。<img file="dda0000151757730000011.GIF" wi="1303" he="259" /> | ||
| 申请公布号 | CN102731346A | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201210103577.6 | 申请日期 | 2012.04.10 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 市川幸司;吉田勋;山下裕子 |
| 分类号 | C07C309/17(2006.01)I;C07C303/32(2006.01)I;C07C381/12(2006.01)I;C07C25/02(2006.01)I;C07C17/00(2006.01)I;C07D333/46(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C07C309/17(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李新红 |
| 主权项 | 1.一种由式(I)表示的盐：<img file="FDA0000151757710000011.GIF" wi="1303" he="259" />其中Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L<sup>1</sup>表示其中的亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C17二价饱和烃基，L<sup>2</sup>和L<sup>3</sup>各自独立地表示单键或其中的亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C6二价饱和烷基，环W<sup>1</sup>和环W<sup>2</sup>各自独立地表示C3-C36烃环，R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自独立地表示氢原子或C1-C6烷基，R<sup>3</sup>表示C1-C6烷基，t表示0至2的整数，并且Z<sup>+</sup>表示有机抗衡离子。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||