低温泵系统、压缩机及低温泵的再生方法

摘要

本发明涉及低温泵系统、压缩机及低温泵的再生方法。本发明的课题在于提高低温泵制冷机的基于逆转升温的升温能力。本发明的低温泵系统(100)具备：低温泵(10)，具备用于进行低温板(60)的冷却运行和用于低温板(60)的再生的升温运行的制冷机(50)；及压缩机(52)，用于向制冷机(50)供给工作气体，使压缩机(52)的供给工作气体温度在升温运行中比在冷却运行中高，更加升高。压缩机(52)可包含用于冷却向制冷机(50)供给的工作气体的热交换器和迂回热交换器的旁通路。控制部(20)可根据制冷机(50)的运行状态，切换经由热交换器的流路和经由旁通路的流路。

主权项

一种低温泵系统，其具备：低温泵，具备用于进行低温板的冷却运行和用于该低温板再生的升温运行的制冷机；及压缩机，用于向该制冷机供给工作气体，其特征在于，使所述压缩机的供给工作气体温度在所述升温运行中比在所述冷却运行中高。