镀膜用旋转溅射阴极装置

摘要

本发明公开了一种镀膜材料溅射均匀和靶材利用率高的镀膜用旋转溅射阴极装置，包括：通过一对支承座活动支承在机架中的阴极圆管及安装在阴极圆管上的圆管状靶材；在阴极圆管内部还绝缘支承有中心支承管和磁芯元件；中心支承管与绝缘套、支承座及阴极圆管之间构成一个密闭的空腔，绝缘套内壁上设置有密封凸块与中心支承管密封接触，位于密封凸块外侧的中心支承管的端部设置有通孔，中心支承管的内腔通过该通孔及绝缘套上的通孔与安装在机架上的进水管相通，密封凸块另一侧的空腔通过绝缘套上的出水通孔与安装在机架上的出水管相通，在中心支承管内腔通过的另一端的出水孔与空腔相通。本发明可应用于真空镀膜玻璃的生产设备中。

主权项

镀膜用旋转溅射阴极装置，其特征在于：包括：安装在阴极圆管上的圆管状靶材，阴极圆管的两端分别连接有一个支承座，其中一个支承座绝缘地活动支承在机架上，该支承座上设置有驱动轮和电刷，电源通过电刷和该支承座传导连接到阴极圆管上；在阴极圆管内部还绝缘支承有中心支承管，中心支承管的底部设置有磁芯元件；另一个支承座活动支承在绝缘套内，绝缘套安装在机架上；中心支承管与绝缘套、支承座及阴极圆管之间构成一个密闭的空腔，绝缘套内壁上设置有密封凸块与中心支承管密封接触，位于密封凸块外侧的中心支承管的端部设置有通孔，中心支承管的内腔通过该通孔及绝缘套上的通孔与安装在机架上的进水管相通，密封凸块另一侧的空腔通过绝缘套上的出水通孔与安装在机架上的出水管相通，在中心支承管的另一端设置有出水孔，空腔通过该出水孔与中心支承管的内腔相通。