三维多方向敏感的微机械惯性电学开关

摘要

一种微机电系统技术领域的三维多方向敏感的微机械惯性电学开关，包括：质量块电极、悬臂梁水平固定电极、螺旋型水平固定电极、悬臂梁垂直固定电极、若干组蛇形弹簧、绝缘衬底、螺旋固定电极支撑座、弹簧支撑座、垂直固定电极支撑座以及悬臂梁支撑座，其中：质量块电极分别与四组蛇形弹簧的一端相连，蛇形弹簧的另一端与弹簧支撑座相连接并将质量块电极悬空于绝缘衬底和悬臂梁垂直固定电极之间，弹簧支撑座和悬臂梁支撑座分别固定设置于绝缘衬底上并位于质量块电极的四周，螺旋型水平固定电极和螺旋固定电极支撑座依次固定设置于衬底上。本发明使微机械惯性电学开关对来自水平和垂直多个方向上的加速度冲击反应敏感。

主权项

一种三维多方向敏感的微机械惯性电学开关，包括：质量块电极、悬臂梁水平固定电极、螺旋型水平固定电极、悬臂梁垂直固定电极、若干组蛇形弹簧、绝缘衬底、螺旋固定电极支撑座、弹簧支撑座、垂直固定电极支撑座以及质量块外围水平电极悬臂梁支撑座，其特征在于：质量块电极分别与四组蛇形弹簧的一端相连，蛇形弹簧的另一端与弹簧支撑座相连接并将质量块电极悬空于绝缘衬底和悬臂梁垂直固定电极之间，且螺旋型水平固定电极设置于环形质量块的中心位置，弹簧支撑座和质量块外围水平电极悬臂梁支撑座分别固定设置于绝缘衬底上并位于质量块电极的四周，螺旋型水平固定电极和螺旋固定电极支撑座固定设置于衬底上。