半导体二极管侧面泵浦腔内倍频紫外激光器及其方法

摘要

本发明公开了一种半导体二极管侧面泵浦的腔内倍频紫外激光器及其方法。它包括顺次相连的第一全反射镜、第一侧泵模块、第一透镜、第二透镜、90°旋光器、第二侧泵模块、声光Q开关、偏振片、第二全反射镜、波片、二倍频晶体、和频晶体和第三全反射镜；其中第一全反射镜和第三全反射镜组成了基频激光谐振腔，第一侧泵模块和第二侧泵模块通过第一透镜、第二透镜、90°旋光器进行热致双折射补偿，基频激光被声光Q开关调制成脉冲光，基频光经过偏振片和第二全反射镜反射后依次通过波片、二倍频晶体、和频晶体，产生的紫外激光从和频晶体的尾端输出。本发明改善1064nm激光的光束质量，提高紫外激光转换效率，降低损耗，使激光器寿命更长，运行更加稳定。

主权项

一种半导体二极管侧面泵浦的腔内倍频紫外激光器，其特征在于包括顺次相连的第一全反射镜（1）、第一侧泵模块（2）、第一透镜（3）、第二透镜（4）、90°旋光器（5）、第二侧泵模块（6）、声光Q开关（7）、偏振片（8）、第二全反射镜（9）、波片（10）、二倍频晶体（11）、和频晶体（12）和第三全反射镜（13）；其中第一全反射镜（1）和第三全反射镜（13）组成了基频激光谐振腔，第一侧泵模块（2）和第二侧泵模块（6）通过第一透镜（3）、第二透镜（4）、90°旋光器（5）进行热致双折射补偿后，产生的基频激光被声光Q开关（7）调制成脉冲光，基频激光经过偏振片（8）和第二全反射镜（9）反射后依次通过波片（10）、二倍频晶体（11）、和频晶体（12），产生的紫外激光从和频晶体（13）的尾端输出。