发明名称 透明导电膜用蚀刻液组合物
摘要 本发明提供对电极材料等中使用的铜和/或铜合金无损伤、能够蚀刻结晶质ITO膜的透明导电膜用蚀刻液组合物。包含含有1~10重量%的氟化合物的水溶液的结晶质透明导电膜用蚀刻液组合物。
申请公布号 CN102732254A 申请公布日期 2012.10.17
申请号 CN201210102517.2 申请日期 2012.04.10
申请人 关东化学株式会社 发明人 山口隆雄;石川典夫
分类号 C09K13/08(2006.01)I;C09K13/04(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I 主分类号 C09K13/08(2006.01)I
代理机构 北京高文律师事务所 11359 代理人 徐江华
主权项 一种结晶质透明导电膜用蚀刻液组合物,包含含有1~10重量%的氟化合物的水溶液。
地址 日本国东京都中央区