接触探头及具有该接触探头的半导体元件用插座

摘要

本发明提供接触探头及具有该接触探头的半导体元件用插座，该接触探头能够抑制触头相对于半导体元件的电极部的增加接触电阻，使触头与电极部稳定地接触并顺畅且优良地进行半导体元件的检查。接触探头(11)包括：上部触头(13)，其设在柱塞(12)的顶端用于与半导体元件的电极部相接触；下部触头(14)，其用于与检查用基板的电极部相接触；螺旋弹簧(17)，其对上部触头与下部触头向使它们相互分开的方向施加力；柱塞形成为具有沿轴向贯通的贯通孔(15)的筒状，上部触头具有形成于柱塞的顶端的山形形状的多个尖锐部(25)，尖锐部以穿过山的顶点(26)的、沿柱塞的轴线的直线A为界形成为不对称形状，并向柱塞的中心侧弯曲。

主权项

一种接触探头，其包括：上部触头，其设在柱塞的顶端用于与半导体元件的电极部相接触；下部触头，其用于与检查用基板的电极部相接触；弹性构件，其对上述上部触头与上述下部触头向使上述上部触头与上述下部触头相互分开的方向施力，该接触探头的特征在于，上述柱塞形成为具有沿轴向贯通的贯通孔的筒状，上述上部触头具有形成在上述柱塞的顶端上的山形形状的多个尖锐部，上述尖锐部以穿过山的顶点的、沿上述柱塞的轴线的直线为界形成为不对称形状，并向上述柱塞的中心侧弯曲。