发明名称 一种测量涂层耐腐蚀性能的方法
摘要 本发明公开了一种测量涂层耐腐蚀性能的方法,该方法是利用测量涂层电容的方法来表征涂层耐腐蚀性能的,具体包括:先将一部分涂层的表面浸于腐蚀性溶液的底部,使涂层下的导电基体与腐蚀性溶液构成一个平板电容器,该平板电容器的电容值与涂层的厚度相关,通过测量该平板电容器电容值的变化来确定涂层厚度的变化,从而根据涂层厚度随时间的变化定量地反映出涂层的耐腐蚀性能。与现有的测量技术相比,本发明的特点是测量涂层的范围增大,特别适合测量高电阻的涂层材料,并对涂层材料的污染不敏感。另外本测量方法的反应速度灵敏,可迅速反映出材料涂层的腐蚀状态。
申请公布号 CN102735601A 申请公布日期 2012.10.17
申请号 CN201110087749.0 申请日期 2011.04.08
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 王文东;刘邦武;夏洋;李超波;罗小晨;李勇滔
分类号 G01N17/00(2006.01)I;G01B7/06(2006.01)I 主分类号 G01N17/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 周国城
主权项 一种测量涂层耐腐蚀性能的方法,其特征在于,该方法是利用测量涂层电容的方法来表征涂层耐腐蚀性能的,具体包括:先将一部分涂层的表面浸于腐蚀性溶液的底部,使涂层下的导电基体与腐蚀性溶液构成一个平板电容器,该平板电容器的电容值与涂层的厚度相关,通过测量该平板电容器电容值的变化来确定涂层厚度的变化,根据涂层厚度随时间的变化定量地反映出涂层的耐腐蚀性能。
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