一种基于双反射面的表面等离子体共振光波导传感器

摘要

本发明公开了一种基于双反射面的表面等离子体共振光波导传感器，它包括：输入波导阵列、自由传播区、两个金属传感层、输出波导阵列和探测器阵列；两个金属传感层分别镀在自由传播区的自由传播区反射端平面和自由传播区反射端曲面上，两个金属传感层上均蚀刻了深刻蚀槽；入射光从输入波导阵列中的一根波导引入，进入自由传播区的一端，依次经由自由传播区反射端平面和自由传播区反射端曲面反射后，再通过输出波导阵列到达探测器阵列。本发明采用两个反射面，可以大大提高传感器的探测精度，也可以同时探测两种物质，节省了大量地探测时间；采用曲面作为反射面，提高了探测范围和精度，减小了传播要求的空间距离，大大减小了传感器的尺寸。

主权项

一种基于双反射面的表面等离子体共振光波导传感器，其特征在于，它包括：输入波导阵列（1）、自由传播区（2）、第一金属传感层（3）、第二金属传感层（6）、输出波导阵列（9）和探测器阵列（10）等；其中，所述自由传播区（2）上具有自由传播区反射端平面（4）和自由传播区反射端曲面（7）；第一金属传感层（3）镀在自由传播区反射端平面（4）上，第二金属传感层（6）镀在自由传播区反射端曲面（7）上，第一金属传感层（3）上蚀刻了第一深刻蚀槽（5），第二金属传感层（6）上蚀刻了第二深刻蚀槽（8）；输出波导阵列（9）的两端分别为自由传播区（2）和探测器阵列（10）；输入波导阵列（1）、输出波导阵列（9）、探测器阵列（10）和自由传播区（2）一体形成。