图案形成装置及图案形成方法

摘要

本发明提供一种可在包含斥液剂的膜上形成对准标记的图案形成装置及图案形成方法。一种在基板上形成规定图案的图案形成装置，其包括：标记曝光部，对于基板上所形成的包含斥液剂的膜曝光出成为对准标记的标记图案；标记印刷部，在标记图案的曝光区域印刷可视化油墨，形成对准标记；还包括：标记检测部，检测对准标记而获得对准标记的位置信息；调整部，基于对准标记的位置信息而改变膜上所形成的图案的位置或者改变基板的位置，从而调整形成图案的位置；图像形成部，在膜上形成图案。

主权项

一种图案形成装置，其是在基板上形成规定图案的图案形成装置，其特征在于包括：标记曝光部，对于所述基板上所形成的包含斥液剂的膜曝光出成为对准标记的标记图案；以及标记印刷部，在所述标记图案的曝光区域印刷可视化油墨，形成所述对准标记。