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发明名称 ARM FOR TRANSFERING A SUBSTRATE AND THE METHOD FOR LOADING AND UNLOADING A SUBSTRATE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR101188257(B1) 申请公布日期 2012.10.15
申请号 KR20100008342 申请日期 2010.01.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;B25J15/08;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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