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一种电浆处理系统，其包含：一微波电浆反应装置；一气体输入装置，其连接该微波电浆反应装置，输入一反应气体至该微波电浆反应装置，该微波电浆反应装置利用一微波激发、解离及离子化该反应气体而形成一电浆态，该反应气体于电浆反应后生成一尾气；以及一尾气中和装置，其接收该尾气，并利用至少一中和反应物中和该尾气。如申请专利范围第1项所述之电浆处理系统，其中该气体输入装置包含：复数气体储存单元，其储存该反应气体与至少一辅助气体；复数过滤器，其连接该些气体储存单元，过滤该些反应气体及辅助气体之复数悬浮粒子；复数质流控制器，其连接该些过滤器，控制该些反应气体及辅助气体之流量；复数气动阀，其连接该些质流控制器，用以控制是否让该反应气体或特定辅助气体进入该电浆处理系统；复数逆止阀，其连接该些气动阀，避免逆流至其他气体储存单元而产生危害；以及一气体混合器，其连接于该些逆止阀与该微波电浆反应装置，该气体混合器经该些过滤器、该些控制阀、该些质流控制器与该些逆止阀接收该些反应气体，并混合该反应气体与该至少一辅助气体，且输送至该微波电浆反应装置。如申请专利范围第2项所述之电浆处理系统，其中该辅助气体为氮气、氢气、氧气或外界空气。如申请专利范围第2项所述之电浆处理系统，其中该些质流控制器连接至一控制模组，该控制模组控制该些质流控制器。如申请专利范围第4项所述之电浆处理系统，其中该控制模组包含一可程式化控制器(PLC)及一触控面板。如申请专利范围第2项所述之电浆处理系统，其中该些质流控制器连接至一电脑装置，该电脑装置控制该些质流控制器。如申请专利范围第6项所述之电浆处理系统，其中该电脑装置为一桌上型电脑或一笔记型电脑。如申请专利范围第1项所述之电浆处理系统，更包含：一气压帮浦，其连接该微波电浆反应装置，抽取该尾气至该尾气中和装置，并产生一负压至该微波电浆反应装置；以及一压力量测单元，其连接该微波电浆反应装置，量测该微波电浆反应装置内部之一压力，该气体输入装置依据该压力量测值调整进气流量，以控制该反应腔室之该压力。如申请专利范围第8项所述之电浆处理系统，其中该气压帮浦为一乾式抽气泵或一湿式抽气泵。如申请专利范围第1项所述之电浆处理系统，更包含：一取样帮浦，其连接该微波电浆反应装置，输送该电浆所产生之该尾气送至该取样分析单元；以及一取样分析单元，其连接该取样帮浦，取样该电浆所产生之该尾气并分析。一侦测仪表，其连接该反应腔室，用于检测该电浆之特性。如申请专利范围第10项所述之电浆处理系统，其中该取样帮浦为一乾式抽气泵。如申请专利范围第10项所述之电浆处理系统，其中该取样分析单元为一气相层析仪(GC)。如申请专利范围第10项所述之电浆处理系统，其中该取样分析单元为一傅立叶转换红外光谱仪(FTIR)。如申请专利范围第10项所述之电浆处理系统，其中该侦测仪表为一光放射光谱仪(OES)。如申请专利范围第10项所述之电浆处理系统，其中该侦测仪表为一热电偶或一压力计。如申请专利范围第1项所述之电浆处理系统，其中该反应气体为包含全氟化物之气体、挥发性有机物或其他半导体残余气体。一种电浆处理方法，其包含：产生一微波至一电浆反应装置内，以生成一电浆于该电浆反应装置内；将一反应气体输入该电浆反应装置，使该反应气体转变为一电浆态；生成一尾气；以及利用至少一中和反应物中和该尾气。如申请专利范围第17项所述之电浆处理方法，其中于输入一反应气体之步骤中更包含：取出该反应气体与至少一辅助气体；过滤该反应气体与该辅助气体；混合该反应气体与该辅助气体；以及输入混有该辅助气体之该反应气体。如申请专利范围第18项所述之电浆处理方法，其中该辅助气体为氮气、氢气、氧气或外界空气。如申请专利范围第17项所述之电浆处理方法，其中于生成一尾气之步骤后，更包含：收集该尾气。如申请专利范围第17项所述之电浆处理方法，其中于利用至少一中和反应物中和该尾气之步骤前后，更包含：取样该尾气；以及分析该尾气。如申请专利范围第17项所述之电浆处理方法，其中于生成一电浆之步骤前，更包含加入一用于电浆反应之添加物的步骤。如申请专利范围第21项所述之电浆处理方法，其中该添加物可为一催化剂或一需进行电浆表面处理之待处理元件。如申请专利范围第17项所述之电浆处理方法，其中该反应气体包含全氟化物之气体、挥发性有机物或其他半导体残余气体。 |
