| 发明名称 |
Reinigung von Substratoberflächen mittels COund NO |
| 摘要 |
Verfahren zur Reinigung von Substratoberflächen, bei dem Kohlendioxid, das zumindest zeitweise Distickstoffmonoxid enthält, als Reinigungsmittel mit der Substratoberfläche in Kontakt gebracht wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Reinigungsmittel 5 bis 20 Vol.-% Distickstoffmonoxid, Rest Kohlendioxid, enthält.
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| 申请公布号 |
DE10236485(B4) |
申请公布日期 |
2012.10.11 |
| 申请号 |
DE20021036485 |
申请日期 |
2002.08.09 |
| 申请人 |
AIR LIQUIDE DEUTSCHLAND GMBH |
发明人 |
DONNERHACK, ANDREAS, DR.;VOLKER, WOLFGANG |
| 分类号 |
C11D7/08;B08B7/00;D06F37/20;D06F43/00;H01L21/00;H01L21/306 |
主分类号 |
C11D7/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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