利用低电功率生成等离子体的便携式微波等离子体生成器

摘要

本发明提供了一种在大气压力下能够利用低电功率生成等离子体的小型便携式微波等离子体生成器，其包括同轴电缆，外导体，连接导体以及连接部。同轴电缆包括第一内导体和环绕第一内导体的介电材料。外导体环绕同轴电缆。连接导体包括至少一个进气管。连接导体在同轴电缆的一端电连接于第一内导体和外导体之间。连接部包括穿过外导体并连接于第一内导体的第二内导体。

主权项

一种能够利用低电功率生成等离子体的便携式微波等离子体生成器，包括：同轴电缆，所述同轴电缆包括：第一内导体，以及介电材料，环绕所述第一内导体；外导体，环绕所述同轴电缆；连接导体，包括至少一个进气管，并且所述连接导体在所述同轴电缆的一端电连接于所述第一内导体和所述外导体之间；释放梢，所述释放梢位于所述同轴电缆的另一端，在所述同轴电缆上释放等离子体；以及连接部，包括第二内导体，所述第二内导体穿过径向限定在所述外导体中的孔并与设置在所述外导体中的所述第一内导体连接，其中，通过所述第二内导体向所述同轴电缆施加微波，以及通过调整所述第一内导体和所述连接部的所述第二内导体相互接触的馈送点的位置，在微波振荡器和所述微波等离子体生成器之间容易地实现阻抗匹配，其中微波振荡器通过所述第二内导体向所述同轴电缆施加微波。