发明名称 用于制造压电弯曲变换器的方法
摘要 本发明推荐了用于制造压电弯曲变换器的方法,其中该压电衬底片变换器分别具有通过一个分隔间隙(30)相互分隔的、相互平行设置的两个薄片(36、37),该薄片分别从一个自由薄片端延伸至一个末端固定区域(25),在该末端固定区域处这两个薄片(36、37)相互连接,其中该分隔间隙(30)结束于该末端固定区域(25)中的一个末端固定间隙端(35),其中该方法按照以下的步骤来执行:在两个相互配对的薄片初始结构(23、24)之间如此插入相应的分隔间隙(30),使得该分隔间隙在所述孔(26a、26b、26c)的整个孔长度上延伸至该孔(26a、26b、26c)的朝向自由薄片端的前孔区域(27a、27b、27c),其中该孔长度在所述压电衬底片(11)的厚度方向上延伸,借助分离工具把设置有分隔间隙(30)的压电衬底片(11)分离为压电弯曲变换器。
申请公布号 CN101237022B 申请公布日期 2012.10.10
申请号 CN200810009268.6 申请日期 2008.01.31
申请人 费斯托股份有限两合公司 发明人 M·韦因曼;A·施米德;A·肖尔茨
分类号 H01L41/22(2006.01)I;F16K31/02(2006.01)I 主分类号 H01L41/22(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 卢江;魏军
主权项 用于制造压电弯曲变换器的方法,其中该压电弯曲变换器分别具有通过一个分隔间隙(30)相互分隔的、相互平行设置的两个薄片(36、37),其中所述薄片分别从一个自由薄片端延伸至一个末端固定区域(25),在该末端固定区域处所述两个薄片(36、37)相互连接,其中所述分隔间隙(30)结束于所述末端固定区域(25)中的一个末端固定间隙端(35),所述方法具有以下的步骤:‑提供具有多个条状薄片初始结构(23、24)的一个多层板状压电衬底片(11),其中分别在两个相互配对的薄片初始结构(23、24)之间的末端固定区域(25)中设置在厚度方向上穿过所述压电衬底片(11)的孔(26a、26b、26c),‑在两个相互配对的薄片初始结构(23、24)之间插入相应的分隔间隙(30)使得:该分隔间隙在所述孔(26a、26b、26c)的整个孔长度上延伸至该孔(26a、26b、26c)的朝向自由薄片端的前孔区域(27a、27b、27c),其中该孔长度在所述压电衬底片(11)的厚度方向上延伸,‑借助一种分离工具把设置有分隔间隙(30)的压电衬底片(11)分离为压电弯曲变换器。
地址 德国埃斯林根
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