一种高价离子源的调制装置

摘要

本实用新型公开了一种高价离子源的调制装置，包括高价离子源、聚焦透镜、调速电极组、高价离子引出电极组、样品靶。高价离子通过激光与团簇相互作用产生，利用聚焦透镜将高价离子会聚于样品靶上，同时利用调速电极对高价离子的能量进行调节。

主权项

一种高价离子源的调制装置，其特征在于：包括依次排列的推斥引出电极组（2）、高价离子聚焦透镜（3）、调速电极（4）和样品靶（5）；推斥引出电极组（2）为二板平行、相互间隔设置的金属板状电极，一为推斥电极（6）、另一为加速电极（7），于一加速电极（7）中部设有贯穿电极板体的孔，高价离子聚焦透镜（3）由2‑5个同轴、相互间隔设置的金属圆筒状电极构成；调速电极（4）组为2‑5个同轴、相互间隔设置的金属圆筒状电极，或为2‑5块平行、相互间隔设置的金属板状电极，电极中部设有贯穿电极板体的孔；一为屏蔽电极（8）、其余为调速电极（9）构成；加速电极（7）的孔、高价离子聚焦透镜（3）、调速电极（4）组的孔同轴设置，加速电极（7）和屏蔽电极（8）靠近高价离子聚焦透镜（3）设置；于远离高价离子聚焦透镜（3）的调速电极（9）外侧设置有样品靶（5），样品靶（5）设置于调速电极（9）的孔的轴线上。