探针卡

摘要

本发明提供一种探针卡，其可提升用以收容使电路构造间电连接的探针的探针头相对于预定基准面的平行度的精确度及平面度的精确度。为了达成此目的，探针卡具备：探针头(15)，用以保持多支探针；平板状布线基板(11)，具有对应电路构造的布线图案；插入件(interposer)(13)，层叠于布线基板(11)，用以转接布线基板(11)的布线；空间变换器(SpaceTransformer)(14)，被夹设于插入件(13)与探针头(15)之间，用以变换插入件(13)转接的布线间隔，并将经此变换后的布线露出于与探针头(15)相对的表面上；以及多个柱构件(18)，形成具有高度比布线基板(11)的板厚与插入件(13)的板厚之和还大的大致柱状，向布线基板(11)与插入件(13)的板厚方向贯穿并埋设于布线基板及插入件中，上述多个柱构件的一方的底面抵接于空间变换器(14)。

主权项

一种探针卡，藉由采用分别由导电性材料构成而且沿长度方向基于弹力而伸缩的多支探针，来确立半导体晶片与用以生成对该半导体晶片输出的信号的电路构造间的电连接，其特征在于具备：探针头，保持上述多支探针；布线基板，具有对应上述电路构造的布线图案；增强构件，安装于上述布线基板，用以增强上述布线基板；平板状的插入件，层叠于上述布线基板，用以转接上述布线基板的布线；平板状的空间变换器，具有多个电极焊垫，表面配置有粘接剂，且被夹设于上述插入件与上述探针头之间并通过所述粘接剂与上述插入件粘接，用以变换上述插入件转接的布线的间隔，并使经此变换后的布线露出于与上述探针头相对的表面；以及多个柱构件，形成为高度比上述布线基板的板厚与上述插入件的板厚之和还大的大致柱状，并固定于上述增强构件，在上述布线基板及上述插入件的板厚方向上贯穿并埋设于上述布线基板及上述插入件中，上述多个柱构件的一方的底面直接抵接于上述空间变换器，所述粘接剂在所述空间变换器的表面配置在所述多个电极焊垫的形成位置与所述多个柱构件的抵接位置以外的部分。