| 发明名称 | 沉积装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种沉积装置，包括气体反应腔、尾气排出管和排堵进气管，其中，所述尾气排出管与所述气体反应腔连接，所述排堵进气管位于所述尾气排出管的侧壁，且与所述尾气排出管贯通。本发明沉积装置中的尾气排出管不易发生堵塞，提高了沉积装置的正常工作时间，且由于无需持续对尾气排出管进行保温，能够节省资源，降低成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102719806A | 申请公布日期 | 2012.10.10 |
| 申请号 | CN201210214960.9 | 申请日期 | 2012.06.26 |
| 申请人 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 李占斌 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;H01L21/318(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种沉积装置，包括气体反应腔和尾气排出管，所述尾气排出管与所述气体反应腔连接，其特征在于，还包括：排堵进气管，所述排堵进气管位于所述尾气排出管的侧壁，且与所述尾气排出管贯通。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||