| 主权项 |
一种脆性材料基板的分割装置，该脆性材料基板分割装置具有：激光照射单元，其将点形状彼此不同的第一激光点和第二激光点选择性地照射至工作台上的脆性材料基板上；冷却单元，其在照射第一激光点时形成对第一激光点附近进行冷却的冷却点；移动单元，其使第一激光点、第二激光点、冷却点相对于所述基板移动；以及分割控制部，其进行下述控制：一边对所述基板照射第一激光点一边使第一激光点移动，从而以比所述基板的软化点低的温度进行加热；使冷却点以追随第一激光点的方式移动来进行冷却，从而在基板表面形成裂纹；进一步一边沿着所述裂纹照射第二激光点一边使第二激光点移动，以比所述基板的软化点低的温度再次加热所述基板，从而使所述裂纹伸展至所述基板的背面以分割所述基板，其特征在于，所述激光照射单元利用光路调整机构形成所述第一激光点或者所述第二激光点，所述光路调整机构对从一个激光光源射出的激光束的光路进行调整，在所述激光照射单元形成第一激光点时，以垂直射入所述基板的垂直入射光束为中心并呈大致对称的热能量分布的光束形状进行照射，在所述激光照射单元形成第二激光点时，以倾斜射入所述基板的倾斜入射光束为中心且呈第二激光点移动方向的前侧比后侧大的热能分布的光束形状进行照射。 |
