| 发明名称 | 多点电压和电流探针系统 | ||
| 摘要 | 一种多点电压和电流探针系统。计量系统监视在电路中多个位置处的射频(RF)功率。该系统包括：多个RF传感器，其基于所述RF功率的电气特性生成相应的模拟信号；多路复用模块，其基于所述模拟信号生成输出信号；和分析模块，其基于所述输出信号生成消息。所述消息包含与由所述多个RF传感器感测的电气特性相关的信息。 | ||
| 申请公布号 | CN101267707B | 申请公布日期 | 2012.10.10 |
| 申请号 | CN200710163802.4 | 申请日期 | 2007.09.30 |
| 申请人 | MKS仪器有限公司 | 发明人 | 雷·切尔瑞;托德·海克尔曼;戴维·J·库莫 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I;G01R21/00(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 陆弋;朱登河 |
| 主权项 | 一种用于在电路中多个位置处监视射频RF功率的计量系统，包括：多个RF传感器，基于所述RF功率的电气特性，生成相应的模拟信号；多路复用模块，基于所述模拟信号生成输出信号；和分析模块，基于所述输出信号生成消息，其中所述消息包含与由所述多个RF传感器感测的所述电气特性有关的信息。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||