发明名称 SPUTTERING TARGET Ta SHEET AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
摘要
申请公布号 KR101188339(B1) 申请公布日期 2012.10.09
申请号 KR20100059436 申请日期 2010.06.23
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;B21B1/28;B21K23/00;C22F1/18 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址