工件台干涉仪和掩模台干涉仪的联调装置及联调方法

摘要

本发明涉及工件台干涉仪和掩模台干涉仪的联调装置及联调方法，该方法包括以下步骤：步骤1，锁定工件台干涉仪；步骤2，将联调装置安装到光刻机中，调节可调连杆，使该联调装置的出射光束与掩模台干涉仪的出射光束之间的间距限定在一定范围内，锁定该可调连杆；卸下联调装置，离线调节角度调整架，使联调装置的出射光束平行于联调装置的入射光束，锁定该角度调整架；步骤3，将联调装置再次安装到光刻机中，调节掩模台干涉仪，使掩模台干涉仪的出射光束平行于联调装置的出射光束，锁定该掩模台干涉仪；步骤4，调节掩模台多面镜工装，使掩模台多面镜工装与掩模台干涉仪的出射光束垂直，锁定该掩模台多面镜工装。

主权项

一种工件台干涉仪和掩模台干涉仪的联调装置，其特征在于，包括可调连杆、分光棱镜、棱镜和角度调整架；所述角度调整架设置在所述可调连杆的一端；所述棱镜与所述角度调整架连接；所述分光棱镜设置在所述可调连杆的另一端；所述可调连杆用于调节所述分光棱镜和所述棱镜之间的距离；所述角度调整架用于调节所述棱镜相对所述分光棱镜的角度；入射光束入射到所述分光棱镜后，一部分光束透过所述分光棱镜，另外一部分光束经所述分光棱镜反射后沿所述可调连杆的内侧壁入射到所述棱镜，经所述分光棱镜反射的光束再经所述棱镜反射后射出。