| 发明名称 | 一种用于弧放电高密度等离子体发生装置的阴极电极 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于弧放电高密度等离子体发生装置的阴极电极，包括阴极(2)、阴极本体(8)、密封罩(1)和绝缘隔套(6)，密封罩(1)通过螺帽(5)和O型密封圈(4)安装于阴极本体(8)的上部，绝缘隔套(6)套装于阴极本体(8)的下部，阴极(2)通过紧定螺钉(3)固定于阴极本体(8)的中心孔内，其上端穿出阴极本体(8)位于密封罩(1)内，阴极本体(8)上设有逆变直流电源的接头(801)和氩气、氢气的导入口(802)。本实用新型使用寿命长、安装维修简便。 | ||
| 申请公布号 | CN202465872U | 申请公布日期 | 2012.10.03 |
| 申请号 | CN201120574359.1 | 申请日期 | 2011.12.31 |
| 申请人 | 成都科尚科技有限公司 | 发明人 | 陈波 |
| 分类号 | C23C16/513(2006.01)I;H05H1/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/513(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都科奥专利事务所(普通合伙) 51101 | 代理人 | 王蔚 |
| 主权项 | 一种用于弧放电高密度等离子体发生装置的阴极电极，包括阴极(2)，其特征在于：还包括阴极本体(8)、密封罩(1)和绝缘隔套(6)，密封罩(1)通过螺帽(5)和O型密封圈(4)安装于阴极本体(8)的上部，绝缘隔套(6)套装于阴极本体(8)的下部，阴极(2)通过紧定螺钉(3)固定于阴极本体(8)的中心孔内，其上端穿出阴极本体(8)位于密封罩(1)内，阴极本体(8)上设有逆变直流电源的接头(801)和氩气、氢气的导入口(802)。 | ||
| 地址 | 610000 四川省成都市高新区天府大道北段1480号高新孵化园11号楼西楼4层402室 | ||