感放射线性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜及其形成方法

摘要

本发明的感放射线性树脂组合物含有[A]具有选自环氧乙烷基及氧杂环丁烷基中的至少1种基团、和能与环氧乙烷基或氧杂环丁烷基加成反应的官能团的聚硅氧烷；及[B]1，2-重氮醌化合物。上述本发明的感放射线性树脂组合物即使在不足250℃的烧成条件下，用于形成层间绝缘膜时，也能够形成高耐热性、高耐溶剂性、高透射率、低介电常数的层间绝缘膜，另外用于形成微透镜时，能够形成具有高透射率和良好的熔化形状的微透镜。

主权项

感放射线性树脂组合物，其特征在于，含有下述成分：[A]具有选自环氧乙烷基及氧杂环丁烷基中的至少1种基团、和能与环氧乙烷基或氧杂环丁烷基加成反应的官能团的聚硅氧烷；及[B]1，2‑重氮醌化合物，其中，[A]聚硅氧烷中的能与环氧乙烷基或氧杂环丁烷基加成反应的官能团是羟基、巯基或氨基。