一种二氯二氢硅除杂方法

摘要

本发明公开了一种二氯二氢硅除杂方法，包括以下步骤：a)对待除杂的液态二氯二氢硅通过金属丝网填料进行粗提纯，得到气态二氯二氢硅和富含杂质的液态高沸物；和b)通过吸附剂吸附除去所述气态二氯二氢硅中的硼、磷、以及金属杂质，得到高纯二氯二氢硅。根据本发明实施例的二氯二氢硅除杂方法，首先通过粗提纯的方法将沸点较低的二氯二氢硅汽化分离出来，再通过吸附剂除去气态二氯二氢硅中的硼、磷、以及金属杂质，得到高纯二氯二氢硅，该方法操作简单，所用设备投资少，能耗低，且得到产物二氯二氢硅纯度较高，产品质量好，可以带来一定经济效益。

主权项

一种二氯二氢硅除杂方法，其特征在于，包括以下步骤：a)对待除杂的液态二氯二氢硅通过金属丝网填料进行粗提纯，得到气态二氯二氢硅和富含杂质的液态高沸物；和b)通过吸附剂吸附除去所述气态二氯二氢硅中的硼、磷、以及金属杂质，得到高纯二氯二氢硅。