硅片酸洗槽

摘要

一种硅片酸洗槽，包括槽体和封在所述槽体的槽口处的槽盖组件，所述的槽盖组件包括位于所述槽体的外壁上用于提供动力的气缸、由所述的气缸的活塞杆驱动的齿条、与所述的齿条相啮合的齿轮、转动连接在所述槽体上的槽盖，所述的齿轮与所述槽盖的同轴固定连接，且所述的齿轮位于所述槽盖的一端部。本实用新型采用两只短行程气缸通过拖动齿轮齿条带动槽盖作90度翻转达到开合目的，气缸与清洗槽隔离，有效避免清洗剂的侵蚀，同时大大缩小了活塞杆行程，提高了气缸槽盖的可靠性。

主权项

一种硅片酸洗槽，包括槽体和封在所述槽体的槽口处的槽盖组件，其特征在于：所述的槽盖组件包括位于所述槽体的外壁上用于提供动力的气缸、由所述的气缸的活塞杆驱动的齿条、与所述的齿条相啮合的齿轮、转动连接在所述槽体上的槽盖，所述的齿轮与所述槽盖的同轴固定连接，且所述的齿轮位于所述槽盖的一端部。