一种抽真空装置

摘要

本实用新型涉及真空设备技术领域，特别涉及一种光伏产业中多晶炉工艺所需要的抽真空装置。包括罗茨泵油旋片泵真空机组，油旋片真空泵，真空阀，真空计。本实用新型在抽真空过程中利用罗茨泵油旋片泵真空机组对工件或真空箱进行抽真空；在充氩保压阶段，采用低能耗的油旋片真空泵来实现装置的保压，具有有效节约电力能源、降低油旋片真空泵的损耗等特点。

主权项

一种抽真空装置，包括罗茨泵油旋片泵真空机组，油旋片真空泵，三个真空阀，真空计，其特征在于：罗茨泵油旋片泵真空机组与第一真空阀的进口经过真空管道相连接并且在二者相连接的真空管道上装有真空计，油旋片真空泵与第二真空阀的进口经过真空管道相连接，第一真空阀与第二真空阀的出口经过真空管道相连接后与第三真空阀的进口经过真空管道相连接，第三真空阀的出口与多晶炉的进口经过真空管道相连接 。