| 发明名称 | 一种生长氧化锌晶体的装置 | ||
| 摘要 | 一种生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：包括加热器和生长室，所述生长室设置在真空室内且通过所述加热器加热，所述生长室外设有保温层。本发明为升华法生长氧化锌晶体装置，具有加热速度快、生长室容易达到高真空等特点，可通过改变工艺条件实现对ZnO晶体尺寸、生长速度的控制。不仅避免了现有技术使用高压设备存在的安全隐患，生长速率高且生长过程易于控制，可生长大尺寸ZnO晶体，并降低了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102703972A | 申请公布日期 | 2012.10.03 |
| 申请号 | CN201210182575.0 | 申请日期 | 2012.06.05 |
| 申请人 | 西安理工大学 | 发明人 | 马剑平;刘洋;刘富丽;吴盼儒 |
| 分类号 | C30B23/06(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I | 主分类号 | C30B23/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人 | 李娜 |
| 主权项 | 一种生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：包括加热器（15）和生长室（4），所述生长室（4）设置在真空室（25）内且通过所述加热器（15）加热，所述生长室（4）外设有保温层（1）。 | ||
| 地址 | 710048 陕西省西安市金花南路5号 | ||