断线检测系统

摘要

本发明涉及一种断线检测系统，特别是应用在半导体专用设备制造行业的多线切割机设备中的断线检测系统，本发明包括设置在旋转轴上的电刷、与电刷固定连接的压簧、与电刷套装连接的电刷架垂直于电刷架中心轴的与电刷架套装连接的支撑轴、插接在支撑轴一端的固定板、和固定板固定连接的固定轴，电刷架和支撑轴之间设置有绝缘套和绝缘圈，电刷和被检测的钢线、旋转轴构成闭环回路；本发明能够准确检测钢线断线给出的信号，从而避免断线引起主辊损坏和切出大量不合格硅片。

主权项

断线检测系统，其特征在于，其包括设置在旋转轴(14)上的电刷(2)、与电刷(2)固定连接的压簧(3)、与电刷(2)套装连接的电刷架(4)、垂直于电刷架(4)中心轴的与电刷架(4)套装连接的支撑轴(10)、插接在支撑轴(10)一端的固定板(11)、和固定板(11)固定连接的固定轴(12)，所述电刷架(4)和支撑轴(10)之间设置有绝缘套(7)和绝缘圈(8)，所述旋转轴(14)与被检测的钢线、电刷(2)构成闭合回路。