发明名称 system for cooling and heating etching tank
摘要
申请公布号 KR101185476(B1) 申请公布日期 2012.10.02
申请号 KR20110013055 申请日期 2011.02.15
申请人 发明人
分类号 C03C15/00;B44C1/22;H01L21/306 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
主权项
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