发明名称 一种提高快速I<sub>d</sub>-V<sub>g</sub>测试精度的测试系统
摘要 本发明属于晶体管可靠性测试技术领域,具体为一种提高快速Id-Vg测试精度的测试系统,其特征在于:在原Id-Vg测试系统中,将原有的高频探针上添加一个50Ω的片状电阻,组成一个高频信号加载探针;在原有的电源探针上添加一个10μF的片状电容器,组成一个新的电源探针。本发明系统可用于高性能低功耗MOSFETs晶体管中精确快速的Id-Vg测试,本发明操作简单、几乎零成本,但是效果显著,测试精确,适用于高电流性能MOSFETs晶体管上高介电常数栅介质可靠性方面的研究。
申请公布号 CN102692593A 申请公布日期 2012.09.26
申请号 CN201210184203.1 申请日期 2012.06.06
申请人 复旦大学 发明人 王晨;卢红亮;孙清清;周鹏;王鹏飞;张卫
分类号 G01R31/26(2006.01)I 主分类号 G01R31/26(2006.01)I
代理机构 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人 陆飞;盛志范
主权项 一种提高快速Id‑Vg测试精度的测试系统,其特征在于:在原Id‑Vg测试系统中,将原有的高频探针上添加一个50 Ω的片状电阻,组成一个高频信号加载探针;在原有的电源探针上添加一个10 μF的片状电容器,组成一个新的电源探针。
地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号