一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台

摘要

本发明公开了一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台，扫描转台(2)安装在固定底座(1)上，固定底座(1)外部安装扫描转台(2)的驱动装置，驱动扫描转台(2)转动，扫描转台(2)上部固定安装三维定位平台(6)，固定底座(1)外侧安装传感器安装座(3)，传感器安装座(3)上分别安装z向跳动误差测量传感器(4)、x向跳动误差测量传感器(8)、第一摆动误差测量传感器(5)、第二摆动误差测量传感器(7)及第三摆动误差测量传感器(9)，根据各传感器测量误差的大小，可采用主动修正控制方法对扫描转台(2)进行误差修正，也可采用数学算法在三维图像重构过程中对跳动误差进行修正，即可减小或消除由转台转轴的位置误差精度而导致扫描图像失真问题。

主权项

一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台，其特征在于，扫描转台(2)安装在固定底座(1)上，固定底座(1)外部安装扫描转台(2)的驱动装置，驱动扫描转台(2)转动，扫描转台(2)上部固定安装三维定位平台(6)，固定底座(1)外侧安装传感器安装座(3)，传感器安装座(3)上分别安装z向跳动误差测量传感器(4)、x向跳动误差测量传感器(8)、第一摆动误差测量传感器(5)、第二摆动误差测量传感器(7)及第三摆动误差测量传感器(9)，z向跳动误差传感器(4)用于测量样品台转轴的z向径向跳动误差，x向跳动误差测量传感器(8)用于测量样品台转轴的x向径向跳动误差，第一摆动误差测量传感器(5)、第二摆动误差测量传感器(7)及第三摆动误差测量传感器(9)用于测量样品台转轴轴向跳动及摆动误差，根据z向跳动误差测量传感器(4)、x向跳动误差测量传感器(8)、第一摆动误差测量传感器(5)、第二摆动误差测量传感器(7)及第三摆动误差测量传感器(9)对扫描转台(2)转轴测量误差的大小，采用主动修正控制方法对扫描转台(2)进行误差修正，后者采用数学算法在三维图像重构过程中对跳动误差进行修正，即可以减小或消除由转台转轴的位置误差精度而导致扫描图像失真问题。