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发明名称
Lithographic apparatus and device manufacturing method
摘要
申请公布号
EP1647865(B1)
申请公布日期
2012.09.26
申请号
EP20050256431
申请日期
2005.10.17
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
VAN DER TOORN, JAN-GERARD CORNELIS;HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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