单频激光偏振干涉仪在线调试装置及方法

摘要

本发明提供的是单频激光偏振干涉仪在线调试装置及方法。装置包括稳频激光器、光隔离器、偏振态旋转机构，待测单频激光偏振干涉仪，光学透射反射机构、光功率计、多路正交干涉信号探测器、干涉信号采集与分析系统、气浮隔振光学平台。该装置的特征是集高偏振度激光的发生、旋转、测量，以及干涉仪输出的正交干涉信号的特性分析于一体，通过对偏振光学元件的在线性能测试和干涉仪输出光强与干涉信号的幅值、相位畸变的评价，完成集成一体化干涉仪的安装与调试，将单频激光偏振干涉仪光路的固有非线性误差减小到nm量级以下，提高干涉仪的测量精度。本发明结构简单、操作简便，稳定可靠，成本低廉，可实时完成单频偏振激光干涉仪的性能在线评价。

主权项

一种单频激光偏振干涉仪在线调试装置，其特征是：由置于气浮隔振光学平台(9)上的稳频激光器(1)、光隔离器(2)、偏振态旋转机构(3)、待测单频激光偏振干涉仪(4)、光学透射反射机构(51、52)、光功率计(61、62)、多路正交干涉信号探测器(71～74)、干涉信号采集与分析系统(8)、气浮隔振光学平台(9)组成；由稳频激光器(1)发出偏振光经光隔离器(2)后变成一束高偏振稳定度的信号光，经偏振态旋转机构(3)后，进入待测单频激光偏振干涉仪(4)；信号光被干涉仪(4)分成两束(41、43)，两束光(41、43)分别经过垂直于光束传输方向的光学透射反射机构(51、52)后，透射光(42、44)分别进入其后的光功率计(61、62)，反射光沿原路返回干涉仪(4)，从干涉仪(4)各端口(Port3～Port6)输出的干涉信号光(45～47)分别被多路正交干涉信号探测器(71～74)接收后，形成正交干涉信号，被送入干涉信号采集与分析系统(8)对干涉信号的直、交流幅值和干涉相位进行分析，给出干涉仪的测量性能与光路非线性误差参数。