| 发明名称 | 用于制造支撑结构的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种制造用于在光刻中支撑物品的支撑结构的方法，包括：提供衬底，所述衬底具有导电顶层，所述导电顶层提供在绝缘体上；对所述导电顶层进行图案化，以提供经图案化的电极结构；以及对所述导电顶层进行氧化，以便提供具有绝缘顶面的埋入式电极结构。通过这种方式，简单的埋入式结构可提供为电极结构，以方便地提供静电夹。另外，本发明涉及用于在光刻中支撑物品而相应制造的支撑结构。 | ||
| 申请公布号 | CN102696100A | 申请公布日期 | 2012.09.26 |
| 申请号 | CN201080057988.5 | 申请日期 | 2010.11.01 |
| 申请人 | 荷兰应用自然科学研究组织TNO | 发明人 | N·B·科斯特;马库斯·G·亨德里克斯·麦尔灵克;埃德温·特·斯利赫特 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人 | 孟桂超;张颖玲 |
| 主权项 | 一种制造用于在光刻中支撑物品的支撑结构(100)的方法，包括：提供衬底(10)，所述衬底(10)具有导电上层(30)，所述导电上层(30)提供在绝缘体层(20)上；在所述导电上层(30)中提供预成型图案结构(40)，所述预成型图案结构(40)具有电极部分(41)的高度轮廓；对所述导电上层(30)进行部分转换，其中，所述电极部件(41)的侧面(43)被转换为变成绝缘的；因此提供具有绝缘顶层(31)的埋入式电极结构(60)，所述绝缘顶层(31)连接到所述绝缘体(20)并且完全环绕剩余的导电电极(61)；并且，在抛光步骤之后，进一步包括下列步骤：在经图案化的电极结构(40)上提供节结构(80)。 | ||
| 地址 | 荷兰代尔夫特 | ||