| 发明名称 | 金属用研磨液及其应用 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种金属用研磨液及其应用。所述金属用研磨液含有研磨粒、氧化金属溶解剂、有机溶剂和水，所述研磨粒包括平均2次粒径为5～39nm的第一研磨粒和平均2次粒径为40～300nm的第二研磨粒，所述金属用研磨液的pH为2～5。 | ||
| 申请公布号 | CN102690607A | 申请公布日期 | 2012.09.26 |
| 申请号 | CN201210144194.3 | 申请日期 | 2008.02.22 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 天野仓仁;樱田刚史;安西创;筱田隆;野部茂 |
| 分类号 | C09G1/02(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I;H01L21/321(2006.01)I | 主分类号 | C09G1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;金鲜英 |
| 主权项 | 一种金属用研磨液，其特征在于，含有研磨粒、氧化金属溶解剂、有机溶剂和水，所述研磨粒包括平均2次粒径为5～39nm的第一研磨粒和平均2次粒径为40～300nm的第二研磨粒，所述金属用研磨液的pH为2～5。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||